美國(guó) HVA 真空閘閥 21200 系列
美國(guó) HVA 百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤溫度不超過(guò) 150°C的應(yīng)用。超長(zhǎng)使用壽命1,000,000 啟動(dòng)次數(shù)。清潔和高密封性保證 HVA 進(jìn)口閥門(mén)與低溫泵、渦輪分子泵,離子泵等完美聯(lián)用。
HVA 百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)允許使用焊接波紋管來(lái)密封驅(qū)動(dòng)器。獨(dú)特的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動(dòng)減少到最小。HVA 百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒(méi)有機(jī)械鎖,因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動(dòng)的敏感加工工業(yè)。所有移動(dòng)的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動(dòng)更容易。HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門(mén)業(yè)界最小的內(nèi)部表面區(qū)域。閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃,1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成,確保了閥門(mén)的最大完整性。 在保養(yǎng)方面,支架部分可以拆掉而不用把真空閥門(mén)從整個(gè)系統(tǒng)中拆卸出來(lái)。閥門(mén)手動(dòng)、氣動(dòng)可選,標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿(mǎn)足不同應(yīng)用。HVA 標(biāo)準(zhǔn)周期真空閘閥21200 系列可任意位置安裝。電磁閥控制并帶有手動(dòng)超控。
HVA 百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 系列技術(shù)參數(shù)
閥門(mén)材質(zhì):
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閥門(mén)主體
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304不銹鋼
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焊接波紋管軸封
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AM-350
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驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)
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硬質(zhì)不繡鋼
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密封件
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氟橡膠
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真空:
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壓力范圍
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1x10-9 mbar
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漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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差壓關(guān)閉
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1 bar (任意位置)
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開(kāi)啟前最大壓力
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≤ 30 mbar
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烘烤溫度(不含電磁閥):
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佛橡膠密封
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150 °c
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驅(qū)動(dòng)方式
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手動(dòng) 60 °c;氣動(dòng) 60 °c
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使用壽命:1,000,000啟閉次數(shù)
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公稱(chēng)通徑:DN16-320 mm
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HVA 百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 產(chǎn)品訂貨號(hào)及2D,3D圖展示
HVA 百萬(wàn)周期真空閘閥 21200 產(chǎn)品部件圖
美國(guó) HVA 真空閥門(mén)-美國(guó)最大真空閥門(mén)制造商。美國(guó)HVA原裝進(jìn)口真空閥門(mén),超過(guò)50年的高真空和超高真空閥門(mén)設(shè)計(jì)與制造。主營(yíng)高真空閘閥,高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門(mén)在中國(guó)地區(qū)唯一指定總代理商。
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