HVA 真空閘閥 真空插板閥81000系列
上海伯東美國 HVA 超高真空閘閥 81000 系列, 閥門主體材質(zhì)鋁, 適用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤溫度不超過 150°C 的高真空應(yīng)用. HVA 真空閘閥 81000系列專為系統(tǒng)集成設(shè)計研發(fā), 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 太陽能, LED / FPD, 涂料, 鍍膜和生物制藥.
HVA 高真空閘閥 81000系列 產(chǎn)品性能:
1. 真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的最大完整性, 有效消除了虛漏和缺陷部分, 避免閥體變形
2. 比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
3. 適用壽命長: 400,000啟閉次數(shù)
4. 高性能 PEEK 組件
HVA 真空閘閥 81000系列 技術(shù)參數(shù):
閥門材質(zhì):
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閥門主體
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6061-T6鋁
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軸封
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[DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS
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支架
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6061-T6/ PEEK
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密封件
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氟橡膠
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閥門密封方式:
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高真空
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氟橡膠
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漏率
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<2×10-9 mbar l/s
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差壓關(guān)閉
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1 bar
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真空:
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壓力范圍
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高真空1x10-7 mbar
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漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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差壓關(guān)閉
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1.6 bar (任意位置)
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開啟前最大壓力
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≤ 30 mbar
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烘烤溫度(不含電磁閥):
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閥門主體
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120 °c
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驅(qū)動方式
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80 °c
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使用壽命:400,000啟閉次數(shù)
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公稱通徑:DN100-320 mm
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美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門制造商, 美國HVA原裝進口真空閥門, 超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計與制造. 主營高真空閘閥, 高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業(yè)等領(lǐng)域. 上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商。
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